水晶式隔膜真空計

概要

水晶式隔膜真空計・クオーツゲージ は、高精度・高感度な水晶振動式圧電素子と独創的な自社特許の感圧・断熱機構により 0.1Pa から 100kPa まで 1ヘッドでガス種依存性の無い高精度圧力測定を実現しました。

特長

・1ヘッドでガス種依存性の無い広帯域測定を実現

・水晶振動式感圧素子の採用による高精度

・高分解能 ・内蔵コントローラーによりマルチI/O対応

・熱遷移誤差のないヒーターレス ・腐食性ガスに対応

仕様

検出方式：水晶圧電素子隔膜変位計測

計測レンジ：100kPa

精度1*)：0.2% of Reading (25℃における直線性および再現性を含んだ出荷時の精度)

精度2*)：0.03% Full Scale (15~45℃における温度補正後の直線性および再現性を含んだ出荷時の精度)

分解能：0.003Pa(応答時間 6.5秒), 0.0125Pa(応答時間 1.6秒)

動作温度・湿度：+15~+45℃, 70%RH 以下

電源電圧・消費電力：18…36VDC ≦1.5W

出力信号：Analog 0…10VDC, RS-485, USB

I/Fコネクタ：HR10A-10R-12P(73), USB Type-C

接続フランジ形状：ICF34

*)精度の定義:計測値から基準器の出力値を引いた値です。計測値から真の値を引いた値や、不確かさとは異なります。

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