概要 同時２軸のマニピュレータで基板回転と首振り等に使用するのに適しています。 特長 オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。。 仕様 接続フランジ：ICF70 偏心移動：0.03mm以下 位置決め精度：0.1°
