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概要
ビューイングポートシャッタ、基板回転など回転を真空内に伝える機構です。
溶接ベローズを使った回転導入機ですので、安価に出来ています。
但し、モータ駆動には適していませんので、手動の操作にてお使い下さい。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。 高精度かつ軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。
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仕様
接続フランジ：ICF34（VBR34の場合）、ICF70（VBR70の場合）
最小目盛り：0.5°（VBR34の場合）、1°（VBR70の場合）
リーク量：2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度：最高200℃
