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概要
ベースフランジを基準にXYに移動させます。
高精度のリニアガイドを使用していますので、再現性の良い真空内の位置決めが容易に行えます。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
また、ハンドル部も独自の製品がありますのでオーブン式による、全体ベーキングにも対応可能です。 別途お問い合わせください。
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仕様
接続フランジ：ICF70（VB70）、ICF114（VB114）、ICF152（VB152）、ICF203（VB203）
移動量(mm)：7.5（VB70-XY7.5、VB114-XY7.5）、12.5（VB114-XY12.5、VB152-XY12.5、VB203-XY12.5）
寿命：10,000回
リーク量：2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度：最高200℃
