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概要
XYステージと組み合わせて、XYZステージとして使用することが可能で、外形に台形ネジを配置した省スペースなZ移動機構です。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。
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仕様
取付フランジ：ICF34（VBLS34）、ICF70（VBL70）
内径 ｍｍ：φ15（VBLS34）、φ38.5（VBL70）
移動量 ｍｍ：25（VBLS34-ST25、VBLS70-ST25）、50（VBLS34-ST50、VBLS70-ST50）
最小読取量：0.2mm
寿命：10,000回
リーク量：2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度：最高200℃
