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概要
高精度のパイプを使用することで、試料を真空チャンバ間で搬送する用途の他に、上下機構、シャッタにも使用しています。
XYステージと組み合わせることで、試料搬送を容易にしています。
自己潤滑のガイドを使用しているので、ゴミ、異物混入に強い構造です。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
オリジナル肉厚パイプにより、ロングストローク、自動化にスムーズに対応します。
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仕様
搬送方式：磁気結合方式
取付フランジ：ICF34（VMRL34）、ICF70（VMRL70）、ICF114（VMRL114）
推奨ストロークｍｍ以下 ※1：400（VMRL34）、700（VMRL70）、1000（VMRL114）
直進力(保持力）：２kgf（VMRL34）、7kgf（VMRL70、VMRL114）
トルク：1.2Kg･cm（VMRL34）、8.0Kg･cm（VMRL70、VMRL114）
