電流導入端子

概要

真空容器の内部に電源用、加熱用などの大電流を大気側から供給するための端子です。

特長

真空アニール装置などの加熱ヒーター用で主に使用していただいております。

高い気密性を保ち、絶縁性、耐熱性に優れています。

仕様

電流値：100A

耐電圧（DC）：5kV

スリーブ：コバール®

絶縁体：アルミナセラミック

絶縁抵抗値：10 9ohm

最高温度：450℃ 最低温度：-196℃

電極：無酸素銅（大気側、真空側共にΦ6）

リークレート：＜5.0×10-10Pa・㎥/sec

フランジ材質：SUS304

・CFフランジ以外の特注品のご相談も承っております。

・標準品は在庫を確保し、即納で対応しております。※数量又は、受注状況によっては在庫の確保が難しい場合がありますので在庫状況をお問い合わせください。