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水晶式隔膜真空計

QG-1000

  • 概要

    水晶式隔膜真空計・クオーツゲージ は、高精度・高感度な水晶振動式圧電素子と独創的な自社特許の感圧・断熱機構により 0.1Pa から 100kPa まで 1ヘッドでガス種依存性の無い高精度圧力測定を実現しました。

  • 特長

    ・1ヘッドでガス種依存性の無い広帯域測定を実現

    ・水晶振動式感圧素子の採用による高精度

    ・高分解能 ・内蔵コントローラーによりマルチI/O対応

    ・熱遷移誤差のないヒーターレス ・腐食性ガスに対応

  • 仕様

    検出方式:水晶圧電素子隔膜変位計測

    計測レンジ:100kPa

    精度1*):0.2% of Reading (25℃における直線性および再現性を含んだ出荷時の精度)

    精度2*):0.03% Full Scale (15~45℃における温度補正後の直線性および再現性を含んだ出荷時の精度)

    分解能:0.003Pa(応答時間 6.5秒), 0.0125Pa(応答時間 1.6秒)

    動作温度・湿度:+15~+45℃, 70%RH 以下

    電源電圧・消費電力:18…36VDC ≦1.5W

    出力信号:Analog 0…10VDC, RS-485, USB

    I/Fコネクタ:HR10A-10R-12P(73), USB Type-C

    接続フランジ形状:ICF34

    *)精度の定義:計測値から基準器の出力値を引いた値です。計測値から真の値を引いた値や、不確かさとは異なります。

    本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。

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