取引先 日本電気株式会社（NEC）様 仕様 ・内径φ1500mmサイズ・クライオポンプ２台搭載・ドライ排気 ・上フタ自動油圧開閉式（エリアセンサー搭載） ・到達真空度 3.0×10E-6Pa ・水晶式隔膜真空計（QZ-1000）搭載
