ロータリーステージ

型式

・VRS70
・VRS114

概要

差動排気することで、超高真空対応ができるロータリー式回転ステージです。

特長

• ICFフランジマウントによる超高真空下においても回転が可能

仕様【受注生産品】

※受注生産品になります。こちらに記載しているものは一例で、お客様のご要望に応じて仕様の変更が可能です
※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください

用途

• LN2、LHeを使用した極低温ステージ

オプション

• モーター駆動