仕様【受注生産品】

取付フランジ	ICF70（VD70） ICF114（VD114） ICF152（VD152） ICF203（VD203） ICF253（VD253）
有効径（mm）	φ32（VD70） φ62（VD114） φ96（VD152） φ146（VD203） φ193（VD253）
ベーキング温度	最高120℃
窓ガラス材質	テンパックスガラス
リーク量	5×10-10Pa・m3/sec以下

※受注生産品になります。こちらに記載しているものは一例で、お客様のご要望に応じて仕様の変更が可能です
※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください

ハッチ付きビューイングポート