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型式
・VB70c-Z50
・VB114-Z50
・VB114c-Z50
・VB114-Z100
・VB114c-Z100
・VB114-Z150
・VB114c-Z150 -
概要
フランジベースを基準にZ方向に移動させます。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
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仕様【受注生産品】
型式 VB70c-Z50 VB114c-Z50 VB114-Z50 VB114c-Z100 VB114-Z100 VB114c-Z150 VB114-Z150 接続フランジ ICF70 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 有効内径 φ40ｍｍ φ50ｍｍ φ50ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ 移動量 50mm 50mm 50mm 100mm 100mm 150mm 150mm 寿命 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 リーク量 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 ベーキング温度 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ ※受注生産品になります。こちらに記載しているものは一例で、お客様のご要望に応じて仕様の変更が可能です
※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
