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概要
真空内に直線運動を伝える機構で、熱電対を取り付けて温度測定、磁気移送機構の先端サポートなど用途は様々です。
ベローズを使った直進導入機です。モータ駆動には適していませんので、手動の操作にてお使い下さい。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
高精度かつ軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。
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仕様
接続フランジ：ICF34（VBL34の場合）、ICF70（VBL70の場合）
許容推進力：12kg（VBL34の場合）、20kg（VBL70の場合）
最小目盛り：0.05mm
寿命：10,000回
リーク量：2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度：最高200℃
