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概要
ベースフランジを基準にXYZに移動させます。高精度のマイクロメータを使用していますので真空内の位置決めが容易に行えます。
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特長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
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仕様
接続フランジ： 移動側：ICF70 固定側：ICF152
有効内径：φ36ｍｍ
移動量： XY：7.5ｍｍ Z：50ｍｍ
繰返し精度： XY：0.01ｍｍ以下 Z：0.05ｍｍ以下
目盛： XY：0.001ｍｍ Z：0.02ｍｍ
寿命：10,000回
リーク量：2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度：最高200℃
予備ポート：CF34×4
